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Design and control of a six degree of freedom active vibration isolator using voice coil motor = 보이스 코일 모터 이용한 6자유도 능동 제진대의 설계 및 제어에 관한 연구link Banik, Rahul; 바닉, 라훌; et al, 한국과학기술원, 2008 |
리소그라피 장비에서 XYtheta 미세구동기의 최적 설계 및 제어 Kim, Dong Min; Kim, Ki Hyun; Lee, Sung Q; Gweon, Dae Gab, Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol.19, No.12, 2002-12 |
초정밀 Dual-Stage의 제어에 관한 연구 = Control of high precision dual-stagelink 남병욱; Nam, Byoung-Uk; et al, 한국과학기술원, 2005 |
할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 6 자유도 능동 제진대의 설계 및 제어 = Design and control of a six degree of freedom active vibration isolator using voice coil motor with halbach magnet arraylink 김명현; Kim, Myeong-Hyeon; et al, 한국과학기술원, 2012 |
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