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VCM을 이용한 wafer용 xyθ 미세구동기의 설계와 제어 = The design and control of xyθ fine stage using VCM for wafer stagelink 김동민; Kim, Dong-Min; et al, 한국과학기술원, 2002 |
리소그라피 장비에서 XYtheta 미세구동기의 최적 설계 및 제어 Kim, Dong Min; Kim, Ki Hyun; Lee, Sung Q; Gweon, Dae Gab, Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol.19, No.12, 2002-12 |
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