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Laterally-driven electrostatic attractive- and repulsive-force microactuators for frequency tuning and quality-factor control = 주파수 및 감쇠계수 조정이 가능한 정전인력 및 정전반발력 수평구동형 마이크로액츄에이터link Lee, Ki-Bang; 이기방; et al, 한국과학기술원, 2000 |
실리콘의 이방성 식각 특성을 이용한 정전 구동형 초소형 거울의 개발 = Development of electrostatically-driven vertical micro mirrors using anisotropic silicon etchinglink 서경선; Seo, Kyoung-Sun; 윤성기; 조영호; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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