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근접장 광기록 헤드의 광학적 성능 평가와 정렬 오차에 대한 간섭 무늬 패턴 분석에 대한 연구

윤형길; 권대갑researcher; 이준희; 정재화; 오형렬, 한국정밀공학회지, v.22, no.5, pp.80 - 86, 2005-05

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근접장 광기록 헤드의 광학적 성능 평가와 정렬 오차에 대한 간섭 무늬 패턴 분석에 대한 연구

Gweon, Dae Gab; Yoon, Hyoung Kil; Lee, Joon Hee; Jung, Jae Hwa; Oh, Hyoung Ryul, Journal of the Korean Society of Precision Engineering, Vol.22, No.5, pp.80-86, 2005-05

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