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(The) high precision and fast actuation system for large aperture mirror using magnetic levitation technology = 자기부상 기법을 이용한 초정밀.고속 대구경 광학거울 구동 시스템link Park, Jae Hyun; Gweon, Dae-Gab; et al, 한국과학기술원, 2017 |
유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지 권대갑; 이학준; 우시웅; 김명현; 박재현; 정재헌, 2016-11-23 |
유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 3축 평면운동 스테이지 권대갑; 박재현; 우시웅; 김현창; 이학준; 김명현; 정재헌; et al, 2016-11-23 |
자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법 및 이를 통해 제조된 도체판 및 이를 포함하는 자기부상 구동 스테이지 권대갑; 우시웅; 안다훈; 박재현, 2015-11-27 |
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