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XY 스캐너의 아베 오차 최소화를 위한 최적 설계 및 나노 정밀도의 원자 현미경 피치 측정 불확도 평가 김동민; 이동연; 권대갑, 한국정밀공학회지, v.23, no.6, pp.96 - 103, 2006-06 |
표준 길이 측정 원자현미경 용 나노 정밀도 스캐너의 설계 및 자가 보정을 통한 계통오차 보정 = The design of nano scanner and the calibration of systematic error using self-calibration for standard length measuring AFM(Atomic Force Microscope)link 김동민; Kim, Dong-Min; et al, 한국과학기술원, 2007 |
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