유도결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 제어에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 홍정인 | - |
| dc.contributor.author | 서상훈 | - |
| dc.contributor.author | 배근희 | - |
| dc.contributor.author | 장홍영 | - |
| dc.contributor.author | 윤남식 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T02:47:43Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T02:47:43Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.citation | 한국진공학회 제16회 학술발표회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/126635 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.title | 유도결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 제어에 관한 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 한국진공학회 제16회 학술발표회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 홍정인 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 서상훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 배근희 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 윤남식 | - |
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