Ta(OC2H5)5와 NH3를 이용한 탄탈륨 산화막의 원자층 단위 증착 및 특성에 관한 연구

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Issue Date
1998
Language
KOR
Citation

한국진공학회 제14회 학술발표회 논문요약집, pp.75 - 76

URI
http://hdl.handle.net/10203/120141
Appears in Collection
MS-Conference Papers(학술회의논문)
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