| 1 | Effect of bounce resonance heating on Electron Energy Distribution Function in a small Inductively Coupled Plasma 정진욱; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999-07 |
| 2 | Plasma producing apparatus and substrate board treatment 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2019-05-21 |
| 3 | Study on electron heating and E-H mode transition in planar inductively coupled plasma = 평판형 유도결합 플라즈마에서 전자 가열 및 E-H 모드 전이에 관한 연구link Seo, Sang-Hun; 서상훈; et al, 한국과학기술원, 2000 |
| 4 | Transformer coupled plasma의 특성 분석 및 chamber의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 변화 특정 = A study on the characteristics of transformer coupled plasma and the geometrical effects of TCP chamber on plasmalink 서상훈; Seo, Sang-Hun; et al, 한국과학기술원, 1995 |
| 5 | 고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구 김정형; 서상훈; 윤석민; 장홍영, 한국진공학회 제9회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 6 | 그리드를 이용한 플라즈마 변수 제어에 따른 Ar/CF4 플라즈마에서 중성종 및 이온들의 분포변화 홍정인; 배근희; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 제17회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 7 | 낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치 장홍영; 서상훈; 정원봉; 채수항; 김재현; 이상원; 엄세훈, 2008-03-27 |
| 8 | 유도결합 플라즈마에서 E-H 모드 전이 및 전자에너지 분포함수의 주파수 특성 연구 서상훈; 홍정인; 배근희; 장홍영, 한국진공학회 제15회 학술발표회, 한국진공학회, 1998 |
| 9 | 유도결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마 제어에 관한 연구 홍정인; 서상훈; 배근희; 장홍영; 윤남식, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 10 | 유도결합 플라즈마에서의 전자에너지 분포 특성 및 Ramsauer 효과에 대한 연구 서상훈; 김성식; 홍정인; 배근희; 장충석; 장홍영, 한국진공학회 제16회 학술발표회, 한국진공학회, 1999 |
| 11 | 이온빔 발생 장치 및 이온 빔 발생 방법 장홍영; 서상훈; 채수항; 박민; 이헌수, 2009-06-10 |
| 12 | 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-08-30 |
| 13 | 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-06-20 |
| 14 | 축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정; 이윤성, 2017-05-16 |
| 15 | 축전 차폐막이 없는 유도결합 아르곤 플라즈마에서 전자에너지 분포 및 플라즈마 전위에 대한 연구 서상훈; 홍정인; 장홍영, 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 , 한국진공학회, 1999 |
| 16 | 플라즈마 발생 장치 장홍영; 서상훈; 인정환, 2011-12-27 |
| 17 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-05-09 |
| 18 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2017-07-31 |
| 19 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성, 2013-03-19 |
| 20 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2014-08-01 |
| 21 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 이윤성; 서상훈, 2018-10-24 |
| 22 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 박기정, 2018-03-02 |
| 23 | 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치 장홍영; 서상훈; 이윤성 |
| 24 | 플라즈마 발생장치 및 기판 처리장치 장홍영; 서상훈; 이헌수; 이윤성, 2011-12-09 |
| 25 | 헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구 김정형; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회 학술발표회, 한국진공학회, 1995 |
| 26 | 헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구 김정형; 서상훈; 장홍영, 한국진공학회지, v.4, no.2, pp.201 - 209, 1995 |
| 27 | 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 윤석민; 서상훈; 김정형; 장홍영, 한국진공학회 제10회 학술발표회, 한국진공학회, 1996-03 |
