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ECR (electron cyclotron resonance) -PECVD 방법으로 증착한 미세결정 규소박막의 특성에 관한 연구 = Characteristics of microcrystalline silicon prepared by ECR-PECVDlink 김철세; Kim, Cheol-Se; et al, 한국과학기술원, 1992 |
수소화된 비정질 규소 박막에서 전하 주입에 의한 결함 생성에 관한 연구 = Defect generation by charge injection in hydrogenated amorphous siliconlink 김철세; Kim, Cheol-Se; 신성철; 이주천; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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