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Browse by Subject 다결정 실리콘

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적외선 센서의 볼로미터 저항체로 사용된 다결정 실리콘 박막에 발생하는 TCR 및 1/f Noise의 최적화 방법에 관한 연구 = A research on how to optimize the level of the TCR and 1/f noise which occur in the polycrystalline silicon film used as a bolometer resistorlink

양진영; Yang, Jin-Young; et al, 한국과학기술원, 2006

12
테스트 패턴을 이용한 다결정 실리콘 박막의 열팽창 계수 측정에 관한 연구 = Measurement of thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon thin film by micro test patternslink

채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 1997

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