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Cu 확산방지용 TCP MOCVD Ta(Si)N 박막 증착 및 특성에 관한 연구 = Deposition and characterization of TCP MOCVD Ta(Si)N thin films as diffusion barrier for Culink 박혜련; Park, Hye-Lyun; et al, 한국과학기술원, 2002 |
일자형 원격플라즈마장치의 개발 = Development of straight type remote plasma generatorlink 유대호; You, Dae-Ho; et al, 한국과학기술원, 2009 |
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