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공초점과 헤테로다인 간섭 원리를 이용한 측정시스템의 제안 및 측정 성능 향상에 관한 연구 = Improvement of measurement performance by using heterodyne differential interferometry and confocal microscopylink

김태중; Kim, Tae-Joong; et al, 한국과학기술원, 2004

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