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Browse by Subject 초정밀 위치제어 스테이지

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초정밀 위치제어 스테이지의 온도드리프트 보상을 위한 측정보조링크 설계에 대한 연구 = A study on the design of the sensing-assistant linkage for compensation of thermal drift of ultra-precision positioning stagelink

이경수; Lee, Kyeong-Soo; et al, 한국과학기술원, 2007

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