Browse by Subject 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 (CMUT)▼aMEMS▼a기체 검출기▼a고민감도▼a나노스피어리소그래피
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| Design and fabrication of high sensitivity nanomechanical resonant gas sensors using nanosphere lithography = 나노스피어리소그래피를 이용한 고민감도의 나노 공진 기체 검출기 설계 및 공정link Kim, Yoo-Jeong; Lee, Hyun Joo Jenny; et al, 한국과학기술원, 2021 |
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Open Access
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- 100,009 2010 - 2019
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