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Browse by Subject 기상유도결정화

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1
금속유도성장법과 기상유도결정화법을 이용한 저온 다결정 Si 박막 제조에 관한 연구 = Low temperature fabrication of poly-Si film by metal-induced growth and vapor-induced crystallizationlink

안경민; Ahn, Kyung-Min; et al, 한국과학기술원, 2011

2
기상유도결정화 및 RTA 공정에 의한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 = Fabrication of polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistorslink

양용호; Yang, Yong-Ho; et al, 한국과학기술원, 2011

3
기상유도결정화법 및 Hot-wire CVD 방법을 이용한 대결정립 다결정 Si 박막 성장에 관한 연구 = Growth of large-grained poly-Si film using vapor-induced crystallization and hot-wire CVDlink

강승모; Kang, Seung-Mo; et al, 한국과학기술원, 2012

4
기상유도결정화법과 급속열처리를 이용한 다결정 Si 박막에서의 Ni 금속 오염량 감소 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 = Control of Ni contamination in polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistorslink

김존수; Kim, John-Soo; et al, 한국과학기술원, 2013

5
기상유도결정화법에 의한 비정질 Si 박막의 저온결정화와 다결정 Si 박막트랜지스터에의 응용에 관한 연구 = Low temperature crystallization of amorphous Si thin films using vapor-induced crystallization and its application to polycrystalline Si thin film transistorslink

엄지혜; Eom, Ji-Hye; et al, 한국과학기술원, 2005

6
화학적 산화막 중간층을 이용한 비정질 Si 박막의 기상유도결정화 연구 = Vapor induced crystallization of amorphous Si flims using chemical oxide interlayerlink

안경민; Ahn, Kyung-Min; et al, 한국과학기술원, 2006

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