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나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션 강지훈; 김경웅; 김광섭, 대한기계학회논문집 A, v.29, no.6, pp.852 - 859, 2005-06 |
나노제조 공정용 열가소성 폴리머 필름의 점착 및 마찰 거동에 관한 연구 = A study on adhesion and friction behavior of thermoplastic polymer film for nanofabrication processlink 김광섭; Kim, Kwang-Seop; et al, 한국과학기술원, 2008 |
롤 기반 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술 임형준; 이재종; 최기봉; 김기홍; 이성휘, 한국기계가공학회지, v.12, no.5, pp.1 - 8, 2013-10 |
분자동역학을 이용한 나노임프린트 리소그래피에서의 패턴 전사에 관한 연구 = A molecular dynamics study on pattern transfer in nanoimprint lithographylink 강지훈; Kang, Ji-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2007 |
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