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기상유도결정화법 및 Hot-wire CVD 방법을 이용한 대결정립 다결정 Si 박막 성장에 관한 연구 = Growth of large-grained poly-Si film using vapor-induced crystallization and hot-wire CVDlink 강승모; Kang, Seung-Mo; et al, 한국과학기술원, 2012 |
다결정 실리콘을 사용한 새로운 수직구조 트랜지스터의 제작 및 특성 평가 = Fablication and characterization of a novel vertical submicron polycrystalline silicon FETlink 이가원; Lee, Ga-Won; 이희철; 한철희; et al, 한국과학기술원, 1996 |
저온 공정을 사용한 ECR $N_2O$-플라즈마 산화막을 가지는 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 EEPROM 소자 = A polysilicon thin film transistor EEPROM cell with ECR $N_2O-plasma$ oxide using low temperature processlink 오정훈; Oh, Jung-Hoon; et al, 한국과학기술원, 1999 |
저온 열처리 공정에 의한 LCD-TFT용 poly-Si 박막의 제조에 관한 연구 = A study on the fabrication of poly-Si films for LCD-TFT by low-temperature annealing processlink 김해열; Kim, Hae-Yeol; et al, 한국과학기술원, 2000 |
활성영역이 유리 기판 내에 매몰된 새로운 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 = Novel TFT with active layer buried in glass substratelink 한기호; Han, Ki-Ho; 김충기; 한철희; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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