학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 신소재공학학제전공, 2001.2, [ xii, 96 p. ]
Norbornene derivatives; Muti-alicyclic polymer; ArF Photoresist; Dry-etching Resistance; 건식내에칭성; 노르보르넨 유도체; 다지환족 고분자; ArF 레지스트
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