Langmuir 프로브 시스템 개발과 Pulsed Magnetron 플라즈마의 시간적 특성에 관한 연구 = Developement of Langmuir probe system and study on the temporal behavior of plasma characteristics in pulsed magnetron plasma

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플라즈마 진단은 플라즈마의 특성제어의 필수요건이다며, 랑뮈어 프로브는 플라즈마의 근본적인 특성을 측정하는데에 가장 접학한 진단방법이다. 이 연구에서는 랑뮈어 프로브, 측정회로, 그리고 데이터 해석을 위한 소프트웨어로 이루어진 시스템을 개발하였다. 이 시스템은 I-V 특성곡선은 물론 전자에너지분포함수를 유도할 수 있다. 또한, 랑뮈어 프로브 측정에 있어 나타날 수 있는 여러 오류들은 교정할 수있도록 설계되었으며, 펄스 플라즈마에서 전자에너지분포함수를 100 nsec의 최소시간분해능으로 측정할 수 있다. 이 시스템을 이용하여, unipolar pulsed dc magnetron에서 구동주파수와 duty-cycle의 효과를 관찰하였다. 정전압/정전류/정전력 세 가지 전원 모드에 대해 주파수는 5kHz ~ 50kHz, duty-cycle은 10%~90%로 변화시켰다. 주파수 변화실험에서는 전자온도와 전자밀도가 큰 변화를 보이지 않으나, duty-cycle 변화실험에서는 duty-cycle에 크게 의존하는 결과를 얻었다. EEDF의 결과로부터 전자온도의 변화는 주로 고에너지 전자군의 증감에 의한 것임을 확인하였고, 이러한 결과를 cathode sheath가 플라즈마로 침투되는 현상으로 설명하였다.
Advisors
장홍영researcherChang, Hong-Youngresearcher
Description
한국과학기술원 : 물리학과,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2005
Identifier
244480/325007  / 000975267
Language
kor
Description

학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2005.2, [ x, 95 p. ]

Keywords

플라즈마; 프로브; 랑뮈어; 마그네트론; boxcar; magnetron; plasma; probe; Langmuir

URI
http://hdl.handle.net/10203/47358
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=244480&flag=dissertation
Appears in Collection
PH-Theses_Ph.D.(박사논문)
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