학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 물리학과, 2000.2, [ iii, 136 p. ]
E-H mode transition; EEDF; Langmuir probe; ICP; Ramsauer effect; 람사우어 효과; E-H 모드 전이; 전자에너지 분포; 랑뮈어 탐침; 유도결합 플라즈마
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.