랜덤 제조 오차를 고려한 모드 편재계수를 최소화하는 반복 배열 마이크로 공진기의 최적 설계 = Design of MEMS resonator array for minimization of mode localization factor subject to random fabrication error

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반복 구조물 형태를 이루는 MEMS 공진기의 제조 공정에서 발생하는 랜덤 오차에 의한 모드 변화 현상을 최소화 하기 위한 최적 설계를 하였다. 우선 반복 구조물에서 가장 흔하게 발생하는 문제인 모드 편재현상을 MAC, 섭동법을 이용하여 모드 변화량으로 정의하였다. 발생한 랜덤 오차에 대한 모드 편재계수의 기대치를 최소화하는 최적 형상을 구하고 이를 공진기의 초기 설계시에 적용하여 공진기의 강건성을 증명하였다.
Advisors
이종원researcherLee, Chong-Wonresearcher
Description
한국과학기술원 : 기계공학전공,
Publisher
한국과학기술원
Issue Date
2005
Identifier
243572/325007  / 020033129
Language
kor
Description

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2005.2, [ xiii, 77 p. ]

Keywords

전류밀도 및 온도 분포; 최적 설계성화 과전압; 모드 편재 계수; 반복 구조물; 100W급 스택의 유동해석; the flow analysis of 100W-stack; current density and temperature distribution; Optimal designerpotential; Mode localization factor; Periodic structures

URI
http://hdl.handle.net/10203/46065
Link
http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=243572&flag=dissertation
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ME-Theses_Master(석사논문)
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