나노 정밀도를 갖는 다축 수직형 마스크 얼라이너의 설계 및 제어에 관한 연구Design and Control of a Nano-Precision Multi-Axis Vertical Mask Aligner
- Advisors
- 권대갑researcher; Gweon, Dae-Gabresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 기계공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2009
- Identifier
- 308518/325007 / 020073147
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2009.2, [ vi, 66 p. ]
- Keywords
piezoelectric actuator; mask aligner; vertical; flexure; precision stage; 압전구동기; 마스크 얼라이너; 수직형; 유연기구; 정밀스테이지; piezoelectric actuator; mask aligner; vertical; flexure; precision stage; 압전구동기; 마스크 얼라이너; 수직형; 유연기구; 정밀스테이지
- Appears in Collection
- ME-Theses_Master(석사논문)
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