표준 길이 측정 원자현미경 용 나노 정밀도 스캐너의 설계 및 자가 보정을 통한 계통오차 보정The design of nano scanner and the calibration of systematic error using self-calibration for standard length measuring AFM(Atomic Force Microscope)
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.advisor | Gweon, Dae-Gab | - |
| dc.contributor.author | 김동민 | - |
| dc.contributor.author | Kim, Dong-Min | - |
| dc.date.accessioned | 2011-12-14T05:27:57Z | - |
| dc.date.available | 2011-12-14T05:27:57Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=263386&flag=dissertation | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/43634 | - |
| dc.description | 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학전공, 2007.2, [ xi, 100 p. ] | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.subject | 미러 직각도 오차 | - |
| dc.subject | AFM (Atomic Force Microscope) | - |
| dc.subject | nano flexure hinge stage | - |
| dc.subject | optimal design | - |
| dc.subject | nano metrology | - |
| dc.subject | self calibration | - |
| dc.subject | systematic error | - |
| dc.subject | Abbe error minimization | - |
| dc.subject | Uncertainty evaluation | - |
| dc.subject | Mirror orthogonality error | - |
| dc.subject | 불확도 평가 | - |
| dc.subject | 아베 오차 최소화 | - |
| dc.subject | 계통 오차 | - |
| dc.subject | 자가 보정 | - |
| dc.subject | 나노 메트롤로지 | - |
| dc.subject | 최적 설계 | - |
| dc.subject | 원자현미경 | - |
| dc.subject | 나노 플렉셔 힌지 스테이지 | - |
| dc.title | 표준 길이 측정 원자현미경 용 나노 정밀도 스캐너의 설계 및 자가 보정을 통한 계통오차 보정 | - |
| dc.title.alternative | The design of nano scanner and the calibration of systematic error using self-calibration for standard length measuring AFM(Atomic Force Microscope) | - |
| dc.type | Thesis(Ph.D) | - |
| dc.identifier.CNRN | 263386/325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 : 기계공학전공, | - |
| dc.identifier.uid | 020025042 | - |
| dc.contributor.localauthor | 권대갑 | - |
| dc.contributor.localauthor | Gweon, Dae-Gab | - |
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- ME-Theses_Ph.D.(박사논문)
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