LCD/TFT Fab의 Mask 운영 위한 시뮬레이션 기반의 최적화 프레임워크 제안

Abstract

LCD(Liquid Crystal Display) 또는 반도체와 같은 전자부품제조 산업의 경쟁이 치열해 지면서 비용절감의 중요성이 커지고 있는 실정이다. LCD나 반도체의 기판에 생성되는 회로의 밀도 및 복잡성이 증가하면서 포토리소그래피(Photolithography) 공정에 사용되는 Mask의 제작비용이 증가하게 되어 Mask 수량 운영 전략의 필요성이 대두되었다. 이를 위해 국내 LCD 패널 제조업체의 기존(existing) Mask 수량운영전략의 문제점을 기반으로 전자부품제조 업체의 Mask 수량 운영전략을 위한 시뮬레이션 기반의 프레임워크를 제안하였다. 이 프레임워크의 목적은 Fab의 제품별 생산요구량을 만족하며 Mask 총 수량을 최소화하는 것을 목적으로 한다. 프레임워크의 구성은 크게 다구치 방법을 이용한 실험계획법과 실험결과에 weight을 부여하여 제품별, 계층별 Mask 수량을 산출하는 Multi-response 최적화 방법론 적용, 이 두 가지 단계로 이루어진다. 이와 같은 프레임워크를 국내 LCD 패널 제조업체의 TFT(Thin Film Transistor) Fab에 적용하여 유효성을 검증하는 한편, weight을 부여하는 현존하는 Multi-response 최적화 방법론 중, LCD/TFT Fab에 가장 적합한 방법이 Desirability Function임을 입증하였다.