학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 산업공학과, 1999.8, [ iv, 112 p. ]
CVD; Process monitoring; Control chart; Statistical process control; Fixed differences; 고정 차이; 화학기상증착; 공정 모니터링; 관리도; 통계적 공정 관리
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