비-화학량론적 비결정질 금속산화물 나노구조체 제조 방법

Abstract

본 발명은 고온에서 입자성장억제 성질을 가지는 금속산화물 나노선을 제작하여 열적 안정성을 갖는 고기능성 센서, 촉매 및 기기에 응용 가능한 비-화학량론적 비결정질 금속산화물 나노구조체 제조 방법에 관한 것으로서, 마스터 패턴이 형성된 마스터 기판 상에 연성 물질을 제공하는 단계, 상기 연성 물질을 상기 마스터 기판으로부터 분리하여 상기 마스터 패턴의 역상을 갖는 베이스 패턴을 포함하는 베이스 기판을 형성하는 단계, 상기 베이스 패턴 상에 금속산화물의 목표 물질을 증착하는 단계 및 상기 목표 물질이 도포된 상기 베이스 기판을 타깃 기판과 접촉시켜, 상기 목표 물질을 동시에 상기 타깃 기판 상에 전사하여 나노선(nanowire)을 제조하는 단계를 포함한다.