광소자의 국소적 전류주입 평가 방법 및 이를 이용한 평가 시스템INVESTIGATION METHOD FOR LOCAL CARRIER INJECTION IN PHOTONIC DEVICES AND INVESTIGATION SYSTEM USING THE SAME
본 발명은, 광소자의 국소적 전류주입 평가 방법 및 이를 이용한 평가 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로 광소자의 발광 정보를 측정하는 단계; 및 상기 발광 정보를 이용하여 광소자의 국소적 전류주입 분포를 평가하는 단계; 를 포함하고, 상기 발광 정보는, 전계루미너센스 및 광루미너센스인 광소자의 국소적 전류주입 평가 방법, 이를 이용한 평가 시스템 및 광소자의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은, 비파괴적으로 광소자의 국소 전류주입을 실시간으로 분석할 수 있고, 광소자의 효율과 수율을 개선시키는데 효과적으로 적용할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2016-03-15
- Application Number
- 10-2016-0031054
- Registration Date
- 2017-08-22
- Registration Number
- 10-1772317-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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