학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 화학과, 2002.8, [ xiii, 115 p. ]
polymeric resist; resist for short wavelength lithography; resist; lithography; molecular resist; 분자 레지스트; 고분자 레지스트; 단파장 리소그라피용 레지스트; 레지스트; 리소그라피
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