장비 로그데이터를 이용한 플라즈마 화학 기상 증착 공정의 가상 계측에 관한 연구

Abstract

본 논문은 플라즈마 화학 기상 증착 공정의 막 두께에 대한 가상 계측 시스템을 구축하는 문제를 다룬다. 장비 내 센서를 통해 얻어지는 로그데이터와 공정 후 계측한 막 두께 데이터를 이용하여, 플라즈마 화학 기상 공정의 특성을 고려한 여러 신경망 기반 예측모델을 고안하고, 실제 데이터에 대해 학습한 예측모델을 통해 막 평균 두께 및 위치 별 막 두께에 대한 가상 계측 시스템을 구축한다. 학습된 예측 모델을 통해 공정 장비 내에서 일어나는 현상에 대한 시뮬레이터를 가상 계측 시스템으로서 간접적으로 구현하고, 실제 데이터에 적용해보며 이를 분석해본다.