극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법 및시스템

Abstract

본 발명은 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 극초단 펄스 레이저빔을 이용하여 단일 펄스로 주기적인 점 패턴을 형성하기 위한 것으로, 이를 위한 본 발명은 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 조사된 레이저빔을 집속하여 가공물에 조사하여 주기적인 점 패턴을 형성하는 제5단계를 포함한다. 따라서, 기존 펨토초 레이저를 이용한 직접기입 방법에서의 가공 시간이 길어지게 단점과, 장시간의 가공에서 오는 안정성이 떨어지게 되는 문제점을 해결할 수 있어 브래그 격자 제작에 수천배 빠른 가공 속도로 균일한 점 패턴을 매우 유용하게 제작할 수 있는 효과가 있다. 극초단 펄스 레이저, 패턴, 컴퓨터, 브래그 격자