마이크로-LED 기반 디스플레이의 제조방법 및 마이크로-LED기반 디스플레이METHOD FOR MANUFACTURING MICRO-LED BASED DISPLAY AND MICRO-LED BASED DISPLAY
본 발명은, 다색 파장 마이크로-LED 기반 디스플레이의 제조방법 및 다색 파장 마이크로-LED 기반 디스플레이에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 반도체 기판 상에, 복수 개의 서브픽셀 단위로 구역화된 마이크로-LED를 형성하는 단계; 상기 마이크로-LED 상의 적어도 일부분에 평탄층을 형성하여 평탄화하는 단계; 상기 평탄층에 비아홀을 형성하는 단계; 및 상기 평탄화된 마이크로-LED 상에, 상기 서브픽셀 구동을 위한 TFT를 배열 및 증착하여 마이크로-LED와 TFT를 집적하는 단계; 를 포함하는, 마이크로-LED 기반 디스플레이의 제조방법 및 및 상기 방법으로 제조된 마이크로-LED 기반 디스플레이에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-04-06
- Application Number
- 10-2020-0041605
- Registration Date
- 2022-08-18
- Registration Number
- 10-2435381-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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