액체를 이용하여 박막을 전사시키기 위한 방법 METHOD FOR TRANSFERRING THIN FILMS USING LIQUID

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본 발명에 의한 액체를 이용하여 박막을 전사시키기 위한 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 전사 방법은 기판 위에 형성된 박막에 접착제를 도포하는 접착제 도포단계; 상기 도포된 접착제 위에 타겟 기판을 부착하는 타겟 기판 부착단계; 상기 타겟 기판이 부착된 상기 기판을, 상기 기판, 상기 박막, 상기 접착제 및 상기 타겟 기판을 손상시키지 않는 액체 속에 담그는 박리 준비단계; 및 기계적인 외력을 가해 상기 액체 속에 담겨진 상기 기판으로부터 상기 박막을 물리적으로 분리시켜 상기 타겟 기판에 전사시키는 박막 전사단계;를 포함한다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2019-09-25
Application Date
2017-08-07
Application Number
10-2017-0099515
Registration Date
2019-09-25
Registration Number
10-2027529-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/267809
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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