금속산화물 다공성 나노튜브 및 이를 이용한 가스센서 부재 및 그 제조방법

Abstract

본 발명의 실시예들은 가스센서용 부재, 이를 이용한 가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 p-type 특성을 띄는 금속산화물 나노섬유에 대한 갈바닉 치환반응을 통해 상기 금속산화물 나노섬유를 구성하는 금속산화물 중 일부가 n-type 특성을 띄는 금속산화물로 치환됨에 따라 형성되는 다수의 p-n 접합을 포함하는 금속산화물 다공성 나노튜브, 이러한 금속산화물 다공성 나노튜브를 이용한 가스센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조방법들에 관한 것이다. 본 발명의 실시예들은 특히, 손쉬운 갈바닉 치환반응을 이용하여 다공성 나노튜브 구조를 형성시킴과 동시에, p-type 특성을 가지는 잔여 금속산화물과 치환된 n-type 특성을 가진 금속산화물에 의해 형성되는 p-n 접합을 통하여 효과적인 가스 검출이 가능하고, 손쉬운 공정법으로 대량생산이 용이하여 효과적인 가스센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조방법을 제공할 수 있는 효과를 갖는다.