레이저 펄스의 비행시간 검출을 이용하는 단차 높이 측정 시스템LARGE STEP HEIGHT MEASURING SYSTEM USING TIME-OF-FLIGHT DETECTION OF LASER PULSES
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김정원 | ko |
| dc.date.accessioned | 2019-08-13T05:20:20Z | - |
| dc.date.available | 2019-08-13T05:20:20Z | - |
| dc.date.issued | 2019-08-06 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/264141 | - |
| dc.description.abstract | 펄스 레이저에서 생성된 광 펄스열의 비행시간 검출을 이용하여 샘플의 측정 대상 지점의 단차 높이를 측정하는 장치 및 방법이 제공된다. 일실시예에서, 단차 높이 측정 장치는 제1 광 펄스열을 생성하는 펄스 레이저, 마이크로파 신호를 생성하는 RF 신호원, 상기 마이크로파 신호 및 상기 제1 광 펄스열을 동기화시키는 제1 위상 검출기, 상기 제1 광 펄스열을 샘플의 측정 대상 지점의 단차 높이에 연관된 비행시간만큼 지연시켜 제2 광 펄스열을 생성하는 단차 높이 측정부 및 상기 제2 광 펄스열 및 상기 마이크로파 신호에 기초하여 상기 측정 대상 지점의 단차 높이에 연관된 출력 신호를 생성하는 제2 위상 검출기를 포함한다. | - |
| dc.title | 레이저 펄스의 비행시간 검출을 이용하는 단차 높이 측정 시스템 | - |
| dc.title.alternative | LARGE STEP HEIGHT MEASURING SYSTEM USING TIME-OF-FLIGHT DETECTION OF LASER PULSES | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김정원 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0015304 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2010172-0000 | - |
| dc.date.application | 2018-02-07 | - |
| dc.date.registration | 2019-08-06 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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