챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operation

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dc.contributor.advisor이태억-
dc.contributor.advisorLee, Tae-Eog-
dc.contributor.author지영준-
dc.date.accessioned2018-06-20T06:18:00Z-
dc.date.available2018-06-20T06:18:00Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.urihttp://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=675228&flag=dissertationen_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/243033-
dc.description학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과, 2017.2,[viii, 59 p. :]-
dc.description.abstract반도체 생산에 있어 다중 슬롯 클러스터 장비는 생산량 증대를 위해 설계된 새로운 형태의 장비로써 한 챔버에서 여러 개의 웨이퍼에 대한 동시 공정이 가능하다. 본 연구에서는 기존에 제안된 형식보다 더 단순하고 분석에 용이한 새로운 형식의 이벤트 그래프모델링 기법을 제시하고 이로부터 양팔 다중 슬롯 장비 내 운영 가능한 로봇 시퀀스들의 성능을 비교하였다. 또한 페트리 넷 모델 및 혼합 정수 계획 모델을 확장하여 다중 슬롯 장비에 적용 시킴으로써 각 시퀀스의 최적 구간에 대한 분석을 진행하였다. 최근 들어 웨이퍼의 품질과 관련하여 대부분의 클러스터 장비는 챔버 클리닝 공정을 필수적으로 포함하고 있다. 본 연구에서는 이러한 클리닝 공정이 존재함에 따라 다중 슬롯 장비 내 운영 가능한 시퀀스들을 정리하고 추가적인 '듀얼 백워드' 시퀀스를 제안하였으며 이벤트 그래프와 페트리넷 모델을 통해 이러한 시퀀스가 다른 시퀀스에 비하여 더 좋은 성능을 보임을 증명하였고 공정 및 클리닝 시간 범위에 따른 각 시퀀스의 효율을 분석하였다.-
dc.languagekor-
dc.publisher한국과학기술원-
dc.subject클러스터 장비-
dc.subject다중 슬롯-
dc.subject페트리 넷-
dc.subject워크로드-
dc.subject클리닝-
dc.subjectCluster tool-
dc.subjectMulti-slot-
dc.subjectPetri net-
dc.subjectWorkload-
dc.subjectCleaning-
dc.title챔버 클리닝 공정을 포함하는 다중 슬롯 클러스터 장비의 스케줄링 = Scheduling of multi-slot cluster tools with chamber cleaning operation-
dc.typeThesis(Master)-
dc.identifier.CNRN325007-
dc.description.department한국과학기술원 :산업및시스템공학과,-
dc.contributor.alternativeauthorJee, Young-Jun-
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IE-Theses_Master(석사논문)
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