학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부, 2017.2,[xi, 107 p. :]
vertically integrated nanowire; gate-all-around structure; logic transistor; nonvolatile flash memory; capacitorless-DRAM; unified memory; one-route all-dry etching process; junctionless-transistor; 수직 집적 나노선; 전면-게이트 구조; 논리 트랜지스터; 비휘발성 메모리; 커패시터가 없는 디램; 융합 메모리; 일괄 건식 식각 공정; 접합이 없는 트랜지스터
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.