선형구동기

Abstract

본 발명은 직선운동을 필요로 하는 구동시스템이나 초정밀 2축 또는 3축 스테이지, 그리고 리소그라피 장비가 요구하는 3축 스테이지의 틸트 구동 시스템에 적용되는 선형구동기에 관한 것으로, 영구자석과 코일을 이용한 서브선형구동기와 이동 간격을 형성하고, 이동 간격에 형성되는 자속의 세기를 코일에 인가되는 전류의 량으로 변화시켜 자속의 밀도 차에 의한 직선 구동의 힘을 얻고, 구동 힘을 연결 축과 구동부의 틀어짐을 막으면서 직선 운동의 가이드 역할을 갖도록 원판을 사용을 하여 직선운동을 얻을 수 있도록 한 것이다.선형구동기, 영구자석, 리소그라피, 스테이지, 구동시스템, 원판 직선 가이드