판스프링 가이드를 이용한 이중서보 ＸＹ 스테이지

Abstract

본 발명은 마이크로스코프의 정밀 스캐닝 또는 파이버 정렬 등에 관련된 2축 운동을 위한 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 케이스의 내측으로 보조운동부와 판스프링을 대칭으로 배치하여 열적 특성과 안정적 운동을 보장하고 X 스테이지와 Y 스테이지를 같은 평면상에 구성하여 X , Y 방향외에 다른 방향의 기생운동을 방지하도록 하는 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 판스프링 가이드를 이용한 이중서보 XY 스테이지는 케이스의 내측에 대향하여 설치되는 X축 보조운동부들과; X축 방향에 수직하도록 상기 X축 보조운동부에 대향하여 설치되는 복수의 제1판스프링들과; 상기 X축 방향으로 인접한 내측의 상기 제1판스프링들 사이에 설치되며 내측공간을 갖는 X축 주운동부와; 및 상기 X축 주운동부의 일측에 인접하고 상기 케이스에 일측이 고정되는 상기 제1판스프링에 설치되며 상기 X축 주운동부의 일측에 접촉하는 X축 구동기를 포함하는 X 스테이지; 및 상기 X 스테이지의 X축 주운동부의 내측공간에서 대향하여 설치되는 Y축 보조운동부들과; Y축 방향에 수직하도록 상기 Y축 보조운동부에 대향하여 설치되는 복수의 제2판스프링들과; 상기 Y축 방향으로 인접한 내측의 제2판스프링들 사이에 설치되는 Y축 주운동부와; 및 상기 Y축 주운동부의 일측에 인접하고 상기 X축 주운동부에 일측이 고정되는 상기 제2스프링에 설치되며 상기 Y축 주운동부의 일측에 접촉하는 Y축 구동기를 포함하는 Y 스테이지로 구성된다.