플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자, 태양전지, ＬＥＤ

Abstract

플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자, 태양전지, LED가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 소자 제조방법은 (a) 희생기판상에 소자층을 적층시키는 단계; (b) 상기 소자층의 상부에 플렉서블 기판을 접합시키는 단계; 및 (c) 상기 희생기판을 제거하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 소자 제조방법은 고온의 반도체 공정을 실리콘 기판에 진행한 후, 플렉서블 기판에 접합시켜, 전사시키는 방식으로 플렉서블 태양전지의 제조를 가능하게 한다. 특히 하부의 실리콘 기판을 비등방식각하는 방식이 아니므로, 대면적의 소자를 우수한 정렬도로 플렉서블 기판에 전사하여, 구현, 제조할 수 있으므로, 경제성이 우수하다. 또한 얇은 두께로 대면적의 태양전지를 제조할 때, 태양전지 박막의 뒤틀림 등의 문제를 효과적으로 해결할 수 있으므로, 경제성, 공정 안정성 또한 우수하다.