수직공진 표면발광 레이저

Abstract

광인도관로들로 형성된 광도파형 수직공진 표면발광 레이저에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 수직공진 표면발광 레이저는; 기판 하면에 하부전극을 형성하고 기판 상에 하부 브래그 반사경층, 활성층, 상부 브래그 반사경층, 상기 상부 브래그 반사경층, 및 상부전극을 순차적으로 적층하며, 자신의 내에 중앙부를 중심으로 하여 둘러싸고 있는 주변부에 복수 개의 광인도관로를 마련하여 광도파로 구조를 형성하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래와 같이 물성을 변화시키지 않고도 광인도관로들로 유효 굴절율을 변화시킬 수 있는 광도파로 구조를 형성하여 다양한 광 모드 조절이 가능하므로 반도체 산업 발전에 지대한 영향을 줄 것며, 이러한 광인도관로들은 물질계에 관계없이 반도체 레이저에 형성 가능하고 종래의 산화막 형성과는 달리 쉬운 재현성으로 간단한 공정만으로도 형성 가능하다. 광인도관로, 광도파로 구조, 단일 광모드, 유효 굴절률, 발진 파장