플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치Gas supply enhancement using the shower head through the electrical insulator
본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 기판처리 장치를 제공한다.
- Assignee
- 주성엔지니어링(주),한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-05-09
- Application Date
- 2011-04-06
- Application Number
- 10-2011-0031535
- Registration Date
- 2013-05-09
- Registration Number
- 10-1264913-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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