축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 그 형성 방법 CAPACTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION APPARATUS AND CAPACTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION METHOD

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본 발명은 축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 축전 결합 플라즈마의 형성 방법을 제공한다. 이 장치는 위치에 따라 다른 할로우 케소드 방전을 유발하는 복수의 홀 영역들을 포함하는 전극, 전극과 이격되어 배치되고 기판을 장착하는 기판 홀더, 전극에 제1 주파수를 가지는 제1 RF 전력을 공급하여 플라즈마를 형성하는 제1 RF 전원, 및 전극에 제2 주파수를 가지는 제 2 RF 전력을 공급하여 플라즈마를 형성하는 제2 RF 전원을 포함한다. 홀 영역들은 홀의 밀도, 홀의 직경, 및 홀의 형태 중에서 적어도 하나는 서로 다르다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2012-05-23
Application Date
2010-04-23
Application Number
10-2010-0037666
Registration Date
2012-05-23
Registration Number
10-1151225-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/235063
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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