모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치Surface emitting laser with a monolithicallyintegrated monitor photdetector
자동출력조절회로와 결합하여 표면광 레이저의 출력을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 모니터용 광검출기 일체형 표면광 레이저장치 및 그 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 표면광 레이저부에서 출사되는 광의 일부를 흡수하여 그 검출신호를 출력하는 모니터용 광검출기에, 표면광 레이저부에서 출사되는 자발방출광에 의한 광전류가 제거되도록 진성반도체층과 불순물 반도체층 사이에 절연층을 더 구비한다. 본 발명에 의하면, 레이저 윈도우를 통해 출사되는 표면광 레이저의 광량을 정밀하게 제어할 수 있다. 표면광 레이저, 모니터용 검출기, 반사경, 자발방출, 유도방출
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2001-12-03
- Application Date
- 1999-11-08
- Application Number
- 10-1999-0049161
- Registration Date
- 2001-12-03
- Registration Number
- 10-0317576-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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