광픽업 ＦＵ(ｆｏｃｕｓｉｎｇ ｕｎｉｔ）용 2군렌즈의조립 및 평가 장치 및 그 방법

Abstract

본 발명은 근접장 혹은 일반적인 광픽업의 헤드에 사용되는 광초점장치(FU; focusing unit)의 요소인 2군 렌즈의 조립 및 평가 장치에 관련된 것으로, 본 발명의 일실시예에 따르면 광픽업용 2군렌즈를 구성하는 제2렌즈(12)와 제1렌즈(11)의 조립위치를 결정하기 위한 장치에 있어서, 상기 제2렌즈(12)가 배치되는 장소를 제공하는 베이스(20)와; 상기 베이스(20)의 일측에 배치되어 레이저빔을 발생시키는 빔발생기(30)와; 상기 빔발생기(30)에서 투사된 빔의 진행방향에 배치되어 빔을 분할시키는 빔분할수단과; 상기 빔분할수단에서 분할된 어느 하나의 빔 진행방향에 배치된 참조거울(50)과; 상기 빔분할수단에서 분할된 다른 하나의 빔 진행방향에 배치되어 입사된 빔을 상기 베이스(20)에 고정된 제2렌즈의 광축(z)을 향하여 반사시키는 반사거울(60)과; 상기 참조거울(50)과 반사거울(60)로부터 되돌아오는 빔을 상기 빔분할수단을 통하여 받는 CCD카메라(70)와; 상기 반사거울(60)과 제2렌즈(12)와의 광축 진행선에 배치된 상기 제1렌즈(11)의 위치를 xy평면상으로 이동시키도록 상기 베이스상에 설치된 xy스테이지 구동기(100)와; 상기 xy스테이지 구동기(100)를 광축(z) 방향으로 조절하여 제2렌즈(12)로부터 이격된 제1렌즈(11)의 간격을 조절하기 위한 z축구동기(110)를 포함하고, 상기 제2렌즈(12)로부터 출광되어 반사된 빔과 상기 참조거울(50)로부터 반사된 빔과의 간섭작용에 의해 상기 CCD카메라(70)에 입력된 이미지 정보를 받아 위상정보를 해석하고 그 위상정보가 기준치 이내이면 양호한 조립평가의 결정을 내리고, 만일 기준치 이상이면 상기 xy스테이지구동기(100)와 z축구동기(110)를 구동제어하는 일련의 프로그램을 구동시키는 컴퓨터;를 포함한 것을 특징으로 한다.광픽업, 2군렌즈, 초점, 광원, 간섭