플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터Manufacturing method for flexible nanogenerator and flexible nanogenerator manufactured by the same
플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법은 희생 기판상에 압전물질층을 포함하는 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 압전소자층을 고온에서 열처리하여 결정화하는 단계; 상기 희생 기판을 제거하여 상기 기판으로부터 단위 압전소자들을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 단위 압전소자를 플렉서블 기판에 전사하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 따라 제조된 플렉서블 나노제너레이터는 기판의 구부러짐에 따라 전력이 생산되므로, 인체의 움직임 등에 따라 지속적인 전력생산이 가능하다는 장점이 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-11-26
- Application Date
- 2010-10-08
- Application Number
- 10-2010-0098331
- Registration Date
- 2012-11-26
- Registration Number
- 10-1207075-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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