은 나노와이어를 이용한 전극소자 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 저온공정을 통해 와이어 단위구조체의 결합을 강화시켜 저저항화를 이루는 동시에, 폴리머 기판에 적용이 용이하며, 헤이즈 현상과, 은 나노와이어층의 접착력 저하와, 표면 거칠기 및 시간에 따른 저항 변화 등을 개선할 수 있도록 하는 은 나노와이어를 이용한 전극소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은 기판상에 은 나노와이어층(220)을 형성하는 제1단계(S110)와, 상기 은 나노와이어층(220)의 상부에 유기금속(OM; ORGANO METAL) 화합물(230) 용액을 코팅시키는 제2단계(S120)와, 상기 유기금속 화합물(230)이 코팅된 상기 은 나노와이어층(220)의 상부에 빛을 조사하여, 와이어 단위구조체(225)가 이루는 각각의 교차부(C)에서 발생되는 표면 플라즈몬에 의한 국부적인 열에너지에 의해 상기 교차부(C)의 결합을 강화시키는 제3단계(S130) 및 상기 플라즈몬에 의해 처리된 은 나노와이어층(220)의 상부에 솔젤용액(SOL-GEL; 250)을 도포하여 표면을 처리하는 제4단계(S140)를 포함하는 은 나노와이어를 이용한 전극소자의 제조 방법 및 이를 통한 전극소자를 제공한다.