고차 조화파 엑스선 발생장치 및 방법, 그리고 고차조화파 엑스선을 이용한 바늘구멍 에돌이 간섭계 APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING HIGH HARMONICX-RAY, AND POINT DIFFRACTION X-RAY INTERFEROMETERUSING HIGH HARMONIC X-RAY

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본 발명은 결맞음성이 우수한 고차 조화파 엑스선 광원을 이용하여 극자외선 리소그라피용 광학계의 표면 품질을 검사할 수 있는 바늘구멍 에돌이 간섭계와, 고차 조화파 엑스선을 발생시키는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 결맞는 광원으로 고차 조화파 엑스선 빔을 사용함으로써, 광원을 만들어 내는 장치의 규모를 기존의 방사광 가속기에서 생성된 광원을 이용하는 장치에 비해서 약 100분의 1 수준으로 줄일 수 있었으며, 고출력 펨토초 레이저에 의한 드릴링 기술을 사용한 미세 구멍이 뚫린 마이크로 박막을 사용하여 간섭계 장치를 단순화시킴으로써 산업적 효용성을 증대시켰다. 바늘구멍 에돌이 간섭계, 펨토초 레이저, 고차 조화파 엑스선, 위상파면 측정, 결맞음성.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2007-09-10
Application Date
2003-03-06
Application Number
10-2003-0014134
Registration Date
2007-09-10
Registration Number
10-0759023-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/232516
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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