금속 나노 슬롯 및 이의 제조 방법METAL NANO SLOTS AND METHODS OF MANUFACTURING THE SAME
금속 나노 슬롯은 제1 유전막 패턴, 제2 유전막 패턴, 제3 유전막 패턴 및 금속막을 포함한다. 제3 유전막 패턴은 제1 유전막 패턴 상부에서 제1 유전막 패턴과 대향한다. 제2 유전막 패턴은 제1 유전막 패턴 및 제3 유전막 패턴 사이에 배치되며, 제1 및 제3 유전막 패턴들 보다 작은 수평 너비를 갖는다. 금속막은 제1 유전막 패턴 및 제3 유전막 패턴의 표면 상에 부분적으로 형성된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-12-01
- Application Date
- 2014-11-19
- Application Number
- 10-2014-0161492
- Registration Date
- 2015-12-01
- Registration Number
- 10-1575203-0000
- Appears in Collection
- NT-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.