플렉서블 바이오센서, 이의 제조 및 사용방법

Abstract

플렉서블 바이오센서, 이의 제조 및 사용방법이 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 바이오센서는 플렉서블 기판; 및 상기 플렉서블 기판상에 구비되며, 생물학적 활성 물질이 고정화된 바이오센서를 포함하며, 여기에서 상기 바이오센서는 소스, 게이트, 드레인 전극을 구비하고, 상기 게이트 전극에 상기 생물학적 활성 물질이 고정화된다. 본 발명에 따른 바이오센서는 플렉서블 기판상에 구현되므로, 종래의 실리콘 기판상에 구현된 바이오센서가 갖는 기판의 딱딱함에 기인한 한계를 매우 효과적으로 극복할 수 있다. 더 나아가, 본 발명에 따른 바이오센서 제조방법은 실리콘 기판상에 바이오센서의 소스 및 드레인 영역만을 형성한 후, 이를 실리콘 기판으로부터 분리하므로, 대면적의 실리콘 기판을 이용하여 다수의 바이오센서를 제조할 수 있다.